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专业服务-失效分析方案设计

失效分析方案设计

时间:2019-04-17 16:03:05 |  点击:459

好样 坏样比对,大家来找碴

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待蚀刻材料

蚀刻主要化学品成分

Molding Compund

发烟硝酸Fuming HNO3

Polyimide

无水乙二胺

Si3N4钝化层

磷酸H3PO4CF4(RIE

SiO2 氧化层

氢氟酸HF

TiN

H2O2+NH4OH

Si poly

HNO3+HF   /KOH

P/N junction stain

HF+HAC+HNO3

Si中位错、层错

CrO3+CuNO3+HF+ HNO3

小心求证,仔细推敲,避免不可挽回

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前期分析阶段:

  • 电路摸排分析

  • 测试验证

  • 应用现场环境验证

制样阶段:

  • 化学方法

  • 干法

  • 湿法   

  • 物理方法

  • 研磨

  • 离子轰击

  • 平面技术

  • 截面技术

观察:


  • 粒子

后期分析阶段:

  • 材料分析

  • 模拟与证明