服务项目

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基础服务-SP样品制备

样品制备

样品制备

样品制备,物理制样,化学制样

2019-04-17 16:39:11基础服务-SP样品制备

RKD 晶背研磨机设备介绍

RKD 晶背研磨机设备介绍

OmegaPreo晶背研磨机利用砂纸或钻石砂纸搭配研磨头作局部研磨,加上后续的抛光,可处理出清晰的样品表面。OmegaPreo晶背研磨机设计的目的是为了提供从样品背面进行研磨,将基材磨至特定的厚度后再进行抛光 ,衔接后续的分析检测。

2019-04-16 17:00:40基础服务-SP样品制备

RIE设备介绍

RIE设备介绍

平板式反应离子刻蚀机系列产品基于容性耦合等离子体技术,为自研机台,具有知识产权。适用于硅类材料如单晶硅,多晶硅,氮化硅(SiNx),氧化硅(SiO2), 石英(quartz)以及碳化硅(SiC)等材料的图案化蚀刻;可用于有机材料如光刻胶(PR),PMMA,HDMS 等材料的图案化与材料去层蚀刻;可用于金属材料如镍(Ni), 铬(Cr)以及陶瓷材料的物理蚀刻。

2019-04-16 16:29:37基础服务-SP样品制备

LASER开盖机设备介绍

LASER开盖机设备介绍

RA-880激光开封机用于去除塑封胶材料直到暴露出基板或引线框架,可以100%通过图像用户界面来控制。完全去除、指定位置、斜面开封均可实现。降低化学工艺所需除塑封胶的总量。

2019-04-16 16:16:41基础服务-SP样品制备

IBE设备介绍

IBE设备介绍

设备简介: 等离子刻蚀机是利用具有一定能量的离子轰击材料表面,使材料原子发生溅射,从而达到刻蚀目的。 LKJ离子束刻蚀系统采用考夫曼离子源产生的准直离子束对样品进行刻蚀,还可以实现材料表面清洗、三维结构刻蚀、材料表面终极抛光以及材料减薄等功能,还具备可实现化学辅助离子束刻蚀和反应离子刻蚀等扩展功能的软、硬件基础。

2019-04-16 15:28:16基础服务-SP样品制备

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