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泓准达(上海)失效分析实验室简介

时间:2019-04-19 17:28:53 |  来源:泓准达 |  阅读:655

上海泓准达失效分析实验室,包括新型电子元器件以及检测技术的研究和开发,并提供相关的技术咨询与技术服务、检验检测服务等。

一.机器

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1.机型 Strata 400

 (1)名称 FIB dualbeam 400

 (2)制造商:FEI

 (3)功能

A.高阶先进制程电路修补(可做到28nm)

B.FA截面分析

   1)免制样;2)精确定位;3)多角度/层次观察

C.TEM样品制备

D.电压衬度

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2.机型200

(1)名称 fib200

(2)制造商 FEI

(3)功能

A.低阶铝制程电路修补≥0.13um

B.FA截面分析

1)免制样;2)精确定位;3)多角度/层次观察

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3.机型FEI XL-30

(1).仪器名称:XL-30 环境扫描电镜

(2).制造商:荷兰Philips-FEI

(3).仪器简介与用途:广泛用于复合材料、陶瓷材料、金属材料、高分子材料、薄膜材料、建筑材料、生物材料、电子材料、导体与非导体地矿、考古等表面微观形貌观察及成分分析。该仪器的一大特点是可检测活体的、湿的样品。

(4).主要配置及技术指标:样品台:包括冷台,1000℃加热台,2000N拉伸台

EDAX Phoenix 能谱仪系统

电子枪:钨灯丝

加速电压:0.2~30kV,连续可调

放大倍数:6×~100,000×

分辨率:30KV时,高真空模式、低真空模式和环境真空模式下均为3.5nm;3KV时,低真空模式下为< 15nm 

能谱仪分辨率133eV; 元素分析范围:4Be~92U


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4.Tem

(1)机型: JEOL JEM-2100F

(2)制造商:FEI

(3)主要性能指标:

A.点分辨率:0.24nm;

B.线分辨率:0.10nm;

C.加速电压:100, 120, 160, 200kV;

D.倾斜角:25度;

E.STEM分辨率:0.20nm。

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3. 抛光机 

 工作原理:本研磨机为精密研磨抛光设备,被磨、抛材料放于研磨盘上,研磨盘逆时钟转动,修正轮带动工件自转,重力加压的方式对工件施压,工件与研磨盘作相对运转磨擦,来达到研磨抛光目的

二、化学实验室

目前我们化学实验室有最基本的处理条件都已具备。

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化学实验台