上海泓准达失效分析实验室,包括新型电子元器件以及检测技术的研究和开发,并提供相关的技术咨询与技术服务、检验检测服务等。
一.机器
1.机型 Strata 400
(1)名称 FIB dualbeam 400
(2)制造商:FEI
(3)功能
A.高阶先进制程电路修补(可做到28nm)
B.FA截面分析
1)免制样;2)精确定位;3)多角度/层次观察
C.TEM样品制备
D.电压衬度
2.机型200
(1)名称 fib200
(2)制造商 FEI
(3)功能
A.低阶铝制程电路修补≥0.13um
B.FA截面分析
1)免制样;2)精确定位;3)多角度/层次观察
3.机型FEI XL-30
(1).仪器名称:XL-30 环境扫描电镜
(2).制造商:荷兰Philips-FEI
(3).仪器简介与用途:广泛用于复合材料、陶瓷材料、金属材料、高分子材料、薄膜材料、建筑材料、生物材料、电子材料、导体与非导体地矿、考古等表面微观形貌观察及成分分析。该仪器的一大特点是可检测活体的、湿的样品。
(4).主要配置及技术指标:样品台:包括冷台,1000℃加热台,2000N拉伸台
EDAX Phoenix 能谱仪系统
电子枪:钨灯丝
加速电压:0.2~30kV,连续可调
放大倍数:6×~100,000×
分辨率:30KV时,高真空模式、低真空模式和环境真空模式下均为3.5nm;3KV时,低真空模式下为< 15nm
能谱仪分辨率133eV; 元素分析范围:4Be~92U
4.Tem
(1)机型: JEOL JEM-2100F
(2)制造商:FEI
(3)主要性能指标:
A.点分辨率:0.24nm;
B.线分辨率:0.10nm;
C.加速电压:100, 120, 160, 200kV;
D.倾斜角:25度;
E.STEM分辨率:0.20nm。
3. 抛光机
工作原理:本研磨机为精密研磨抛光设备,被磨、抛材料放于研磨盘上,研磨盘逆时钟转动,修正轮带动工件自转,重力加压的方式对工件施压,工件与研磨盘作相对运转磨擦,来达到研磨抛光目的。
二、化学实验室
目前我们化学实验室有最基本的处理条件都已具备。
化学实验台