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上海泓准达失效分析实验室，包括新型电子元器件以及检测技术的研究和开发，并提供相关的技术咨询与技术服务、检验检测服务等。

一.机器

1.机型 Strata 400

 （1）名称 FIB dualbeam 400

 （2）制造商：FEI

 （3）功能

A.高阶先进制程电路修补（可做到28nm）

B.FA截面分析

   1）免制样；2）精确定位；3）多角度/层次观察

C.TEM样品制备

D.电压衬度

2.机型200

（1）名称 fib200

（2）制造商 FEI

（3）功能

A.低阶铝制程电路修补≥0.13um

B.FA截面分析

1）免制样；2）精确定位；3）多角度/层次观察

3.机型FEI XL-30

（1）.仪器名称：XL-30 环境扫描电镜

（2）.制造商：荷兰Philips-FEI

（3）.仪器简介与用途：广泛用于复合材料、陶瓷材料、金属材料、高分子材料、薄膜材料、建筑材料、生物材料、电子材料、导体与非导体地矿、考古等表面微观形貌观察及成分分析。该仪器的一大特点是可检测活体的、湿的样品。

（4）.主要配置及技术指标：样品台:包括冷台，1000℃加热台，2000N拉伸台

EDAX Phoenix 能谱仪系统

电子枪:钨灯丝

加速电压：0.2~30kV，连续可调

放大倍数：6×~100,000×

分辨率:30KV时，高真空模式、低真空模式和环境真空模式下均为3.5nm;3KV时，低真空模式下为< 15nm 

能谱仪分辨率133eV; 元素分析范围：4Be~92U

4.Tem

（1）机型: JEOL JEM-2100F

（2）制造商：FEI

（3）主要性能指标：

A.点分辨率：0.24nm；

B.线分辨率：0.10nm；

C.加速电压：100, 120, 160, 200kV；

D.倾斜角：25度；

E.STEM分辨率：0.20nm。

3. 抛光机 

 工作原理：本研磨机为精密研磨抛光设备，被磨、抛材料放于研磨盘上，研磨盘逆时钟转动，修正轮带动工件自转，重力加压的方式对工件施压，工件与研磨盘作相对运转磨擦，来达到研磨抛光目的。

二、化学实验室

目前我们化学实验室有最基本的处理条件都已具备。

化学实验台